2012年12月22日 星期六 12月上旬(总第347期)
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“点亮”中国的LED高端装备

2013-01-24 10:41:29

  本报讯(记者 吴高毅)  MOCVD是高亮度LED芯片生产过程中最关键的设备,因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因,市场主要被欧美日企业所垄断。我国高亮度LED外延芯片与封装在规模与素质上都取得了举世瞩目的成就,但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口,生产成本居高不下,严重制约着LED产业的发展。因此开发出更高性价比的国产商业化MOCVD设备成为LED外延芯片企业的迫切要求。

  2010年9月,理想能源启动MOCVD项目,在短短的一年时间里,理想能源技术团队设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备,并完成了第一代单腔体独立设备和高产出率的簇式生产系统的生产组装,成功地实现GaN基LED外延片的发光。经过设备原型机近1年的运行证明其性能达到甚至超过预定指标,并于2012年5月通过上海市科委的验收。依据连续的工艺验证结果和客户数据反馈,在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备,量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升。

  理想能源量产型MOCVD设备的下线,将有望逐步打破量产化MOCVD设备一直被国外厂商垄断的局面,国产设备将与进口产品同台竞技,为广大LED外延芯片企业改善产品品质、降低生产成本,提供优质的本土化服务。

  在下线仪式上,台湾璨圆光电公司代表与理想能源MOCVD总经理奚明博士代表双方就MOCVD出货及后续多台套设备的深入合作签署了协议。

  国家工信部、国家科技部,上海市发改委、市经信委、市科委,浦东区委、区政府,张江高新区、张江集团相关领导出席仪式,正泰集团股份有限公司董事长南存辉出席仪式并做讲话。南存辉说,“我们立足技术创新不动摇,立足高端装备制造不动摇,立足实业发展不动摇,充分发挥尖端技术、高端人才与产业和金融资本融合的优势,为天更蓝、地更绿、水更净做出应有的贡献。”

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